LPE法による高品質SOI層の形成技術に関する研究

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/2261/1844

タイトル:	LPE法による高品質SOI層の形成技術に関する研究
著者:	鈴木, 喜之
著者(別言語):	Suzuki, Yoshiyuki
キーワード:	集積回路
Issue Date:	29-Mar-1990
内容記述:	報告番号: 甲08565 ; 学位授与年月日: 1990-03-29 ; 学位の種別: 課程博士 ; 学位の種類: 工学博士 ; 学位記番号: 博工第2508号 ; 研究科・専攻: 工学系研究科電子工学専攻
URI:	http://hdl.handle.net/2261/1844
Appears in Collections:	021 博士論文 1132220 博士論文(電子工学専攻)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
108565.pdf		38.35 MB	Adobe PDF	View/Open