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タイトル: 研究速報 : 選択的光エッチングを用いたシリコン表面の微細加工とサブミクロン回折格子の作成
その他のタイトル: Micro-Lithography and Fabrication of Sub-Micron Diffraction Gratings on Silicon by Selective Photo-Electrolytic Etching
著者: 榊, 裕之
今井, 勇次
著者(別言語): SAKAKI, Hiroyuki
IMAI, Yuji
発行日: 1979年4月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 31(4), 1979.4.1, pp. 227-230
URI: http://hdl.handle.net/2261/35354
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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