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タイトル: 特集8 : 研究速報 : SEM による粗さ測定の較正法とその応用
その他のタイトル: Calibration Method and Its Application to Surface Roughness Measurement by SEM
著者: 佐藤, 壽芳
榊, 裕之
大堀, 真敬
関口, 芳信
著者(別言語): Sato, Hisayoshi
Sakaki, Hiroyuki
O-hori, Masanori
SEKIGUCHI, Yoshinobu
発行日: 1984年2月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 36(2), 1984.2.1, pp. 90-92
内容記述: 特集 生産・加工システムの最適化
URI: http://hdl.handle.net/2261/38963
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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