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タイトル: 特集10 : 研究速報 : Low-Energy High-Current Ion Source for Ion-Shower Applications
その他のタイトル: 低エネルギ大電流イオンシャワー源
著者: MASUZAWA, Takahisa
TSUCHIYA, Ichiro
著者(別言語): 増沢, 隆久
土屋, 一郎
発行日: 1984年2月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 36(2), 1984.2.1, pp. 97-100
内容記述: 特集 生産・加工システムの最適化
URI: http://hdl.handle.net/2261/38965
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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