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タイトル: 特集2 : 研究解説 : クリーンルーム用アクチュエータ
その他のタイトル: Clean Room Actuators
著者: 樋口, 俊郎
著者(別言語): HIGUCHI, Toshiro
発行日: 1987年6月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 39(6), 1987.6.1, pp. 209-214
抄録: 半導体製造やバイオテクノロジー関係の分野においてクリーンル-ムは不可欠のものになっており、そのクリーン度への要求が高まってきている。これにともない、塵の発生しないクリーンな自動化機器の開発が強く求められている。本文では、クリーンルーム用アクチュエータの現状を著者らの研究をまじえて解説する
内容記述: 特集 生産・加工システムの最適化
URI: http://hdl.handle.net/2261/39614
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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