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タイトル: 特集16 : 研究速報 : 作動距離、加速電圧と反射電子信号の関連について : 走査電子顕微鏡による表面形状測定
その他のタイトル: Correlation of Backscattered Electron Signal with Working Distance and Accelarating Voltage : The Surface Form Measurment using SEM
著者: 大堀, 真敬
佐藤, 壽芳
著者(別言語): O-HORI, Masanori
Sato, Hisayoshi
発行日: 1988年10月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 40(10), 1988.10.1, pp 520-523
内容記述: 特集 生産・加工システムの最適化
URI: http://hdl.handle.net/2261/40101
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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