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タイトル: 研究速報 : A Dual-Tunneling-Unit STM : application as a nm order measuring machine and a positioning table
その他のタイトル: デュアル トンネル ユニット STM : 測長器および位置決めテーブルとしての応用
著者: KAWAKATSU, Hideki
HIGUCHI, Tashiro
著者(別言語): 川勝, 英樹
樋口, 俊郎
キーワード: ja
発行日: 1989年6月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 41(6), 1989.6.1, pp. 548-551
URI: http://hdl.handle.net/2261/42328
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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