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タイトル: 特集2 : 研究解説 : 走査電子顕微鏡による表面形状測定
その他のタイトル: Measurements of Surface Profile by Scanning Electron Microscope
著者: 佐藤, 壽芳
大堀, 真敬
著者(別言語): SATO, Hisayoshi
OHORI, Masanori
発行日: 1990年6月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 42(6), 1990.6.1, pp. 301-311
抄録: 走査電子顕微鏡(SEM)を用いて微細表面形状を測定する方法について、光学的方法、トンネル顕微鏡(STM)との比較を簡単に行った後、 SEM二を用いる方法の中にも、ステレオ画像法、二次電子信号を用いる方法,反射電子信号を用いる方法があることを述べている。サブμm台の形状に対する当面の最も信海性の高い方法として、反射電子信号による方法があげられていることを、その特徴や機能を概観しつつ明らかにしている
内容記述: 特集 生産加工システムの先進技術
URI: http://hdl.handle.net/2261/43424
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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