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タイトル: 研究速報 : 高分解能電子顕微鏡による窒化アルミニウム焼結体の粒界構造解析(1) : エピ性パラメータの検討
その他のタイトル: High-Resolution Electron Microscopy of Grain Boundary Structures in Sintered Aluminum Nitride : Examination of Epitaxy Parameters
著者: 石本, 竜二
市野瀬, 英喜
石田, 洋一
著者(別言語): ISHIMOTO, Ryuji
ICHINOSE, Hideki
ISHIDA, Yoichi
発行日: 1991年7月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 43(7), 1991.7.1, pp. 326-329
URI: http://hdl.handle.net/2261/48302
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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