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タイトル: 研究速報 : 窒化ケイ素・ニッケル接合界面における反応
その他のタイトル: Si3N4-Ni Bonding and lnterfacial Reaction
著者: 岩本, 知広
葛巻, 徹
森, 実
石田, 洋一
著者(別言語): IWAMOTO, Chihiro
KUZUMAKI, Toru
MORI, Minoru
ISHIDA, Yoichi
発行日: 1992年5月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 44(5), 1992.5.1, pp. 247-250
URI: http://hdl.handle.net/2261/48474
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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