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タイトル: 特集19 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定
その他のタイトル: Comparison Measurement with a Crystalline Lattice as the Scale Reference : Measurement of Accuracy for a Measurement Range of 10nm
著者: 川勝, 英樹
樋口, 俊郎
川合, 稔
渡邊, 道仁
西沖, 暢久
著者(別言語): KAWAKATSU, Hideki
HIGUCHI, Toshiro
KAWAI, Minoru
WATANABE, Michihito
NISHIOKI, Nobuhisa
発行日: 1993年6月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 45(6), 1993.6.1, pp. 455-457
内容記述: 特集 生産加工プロセスの先進技術
URI: http://hdl.handle.net/2261/49297
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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