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タイトル: 特集1 : 研究解説 : 電界放射計数相関法による表面拡散過程の研究
その他のタイトル: Field Emission Counting Fluctuation Method and Its Application to the Study on Surface Diffusion Process
著者: 岡野, 達雄
本田, 融
著者(別言語): OKANO, Tatsuo
HONDA, Tohru
発行日: 1993年11月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 45(11), 1993.11.1, pp. 767-773
抄録: 表面・界面における原子操作を現実のものとするために必要な知識の一つに,表面における原子輸送過程(表面拡散)の解明がある.本解説では,清浄表面における原子拡散過程を研究する方法としてわれわれが近年開発した「電界放射計数相関法」の概略を説明し,この方法によって測定が可能となった半導体表面での金属原子の異方性拡散過程の研究成果を紹介する.
内容記述: 小特集 RGOE(界面原子操作の基礎と応用)
URI: http://hdl.handle.net/2261/49827
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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