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タイトル: 特集8 : 研究解説 : 4分割フォトセンサを用いた光計測技術
その他のタイトル: Optical Measuring Technology Using Quadrant Photocells
著者: 上村, 康幸
谷, 泰弘
著者(別言語): KAMIMURA, Yasuyuki
TANI, Yasuhiro
発行日: 1993年12月1日
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 45(12), 1993.12.1, pp. 854-861
抄録: 鏡面加工された加工面の非接触計測方法としては,主に光学的方法,特にレーザ光の直進性を利用した光計測方法が多用されている.最近その受光素子として4分割フォトセンサを用いた計測技術が多数報告されている.これは,高分解能が得られる,広いダイナミックレンジが得られるなどの特徴によるものである.本報では,著者らの研究成果も含めて,4分割フォトセンサを用いて表面粗さや形状精度などの表面形状を測定する光計測法について解説する.
内容記述: 小特集 先端素材開発研究センター
URI: http://hdl.handle.net/2261/49842
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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