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タイトル: 特集16 : 研究速報 : 校正用光波干渉計を備えた結晶格子基準段差測定平行バネSTM
その他のタイトル: Step Height Measurement Using a Scanning Tunneling Microscope Equipped with a Crystalline Lattice Reference and Interferometer
著者: 藤井, 透
鈴木, 正敏
樋口, 俊郎
鴻上, 弘
川勝, 英樹
著者(別言語): FUJII, Toru
SUZUKI, Masatoshi
HIGUCHI, Toshiro
KOUGAMI, Hiroshi
KAWAKATSU, Hideki
発行日: 1994年12月
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 46(12), 1994.12, pp. 682-685
内容記述: 特集 プロダクションテクノロジー
URI: http://hdl.handle.net/2261/50028
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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