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タイトル: 調査報告 : VLSI用薄膜SOI CMOSデバイスに関する研究動向調査
その他のタイトル: Research Trend of Thin Film SOI CMOS Devices for VLSI Applications
著者: 平本, 俊郎
著者(別言語): Hiramoto, Toshiro
発行日: 1996年11月
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 48(11), 1996.11, pp. 568-569
URI: http://hdl.handle.net/2261/53010
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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