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タイトル: 特集15 : 研究速報 : ナノメートルオーダの機械振動子の作成方法と特性測定
その他のタイトル: Fabrication and Characterization of a Nanometric Sscillator
著者: 川勝, 英樹
佐谷, 大輔
ラバシェルリ, ミッシェル ド
ウマディ, ムサ
著者(別言語): Kawakatsu, Hideki
Saya, Daisuke
Labachelerie, Michel de
Hoummady, Moussa
発行日: 1997年9月
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 49(9), 1997.9, pp. 446-447
内容記述: 特集 先進プロダクションテクノロジー
URI: http://hdl.handle.net/2261/53189
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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