UTokyo Repository 東京大学
 

UTokyo Repository >
134 生産技術研究所 >
生産研究 >

このページ(論文)をリンクする場合は次のURLを使用してください: http://hdl.handle.net/2261/53190

タイトル: 特集16 : 研究速報 : 結晶格子を用いた段差測定
その他のタイトル: Step Height Measurement using a Crystalline Lattice Scale Reference
著者: 藤井, 透
今堀, 克彦
ブロイレル, ハネス
川勝, 英樹
著者(別言語): Fujii, Toru
Imabori, Katsuhiko
Bleuler, Hannes
Kawakatsu, Hideki
発行日: 1997年9月
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 49(9), 1997.9, pp. 448-449
内容記述: 特集 先進プロダクションテクノロジー
URI: http://hdl.handle.net/2261/53190
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

この論文のファイル:

ファイル 記述 サイズフォーマット
sk049009016.pdf280.69 kBAdobe PDF見る/開く

本リポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。

 

Valid XHTML 1.0! DSpace Software Copyright © 2002-2010  Duraspace - ご意見をお寄せください