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タイトル: 研究解説 : GaN and Related Compounds for MEMS and MOEMS
著者: Krawczyk, Stanislas K.
Someya, Takao
Arakawa, Yasuhiko
Fujita, Hiroyuki
発行日: 1999年8月
出版者: 東京大学生産技術研究所
掲載誌情報: 生産研究. 51(8), 1999.8, pp. 622-625
URI: http://hdl.handle.net/2261/54981
ISSN: 0037105X
出現カテゴリ:生産研究
生産研究

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