セッション1 : 三次元マイクロ加工技術

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Permalink : http://hdl.handle.net/2261/55121

File / Name	License
sk052006003.pdf
sk052006003.pdf (881.37KB) [ 10 downloads ]

アイテムタイプ	紀要論文 / Departmental Bulletin Paper
言語	日本語
著者	増沢隆久
著者所属	東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
内容記述	第13回生研学術講演会"マイクロマシン : 基盤技術の充実と応用の展開の現状"
雑誌名	生産研究
巻	52
号	6
ページ	268 - 272
発行年	2000-06
ISSN	0037105X
書誌レコードID	AN00127075
出版者	東京大学生産技術研究所
出版者別名	Institute of Industrial Science, the University of Tokyo

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