WEKO3
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研究解説(公開講演) : 超高真空の科学
http://hdl.handle.net/2261/39510
http://hdl.handle.net/2261/3951051e7dfc3-6473-4bdf-ae67-5bdc043bb966
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk038011001.pdf (623.1 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2010-12-24 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 研究解説(公開講演) : 超高真空の科学 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Science of Ultra high Vacuum | |||||
著者 |
辻, 泰
× 辻, 泰 |
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著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 38027 | |||||
姓名 | TUZI, Yutaka | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学生産技術研究所第1部 真空物理学 | |||||
抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 超高真空では気体分子の平均自由行程が1km以上に達するようになり、気体分子は真空容器の内壁表面とのみ衝突を繰り返す。そのため、真空内現象には気体分子の表面への吸着確率、吸着分子の平均滞留時間などが大きく反映され、表面汚染の観点から圧力と共に真空の質が問題となる。また、真空の応用範囲の拡大に伴って、イオン、電子、励起中性粒子、福射などの存在する場合が多くなり、非熟的現象の重要性が増加する。このような真空は熱い真空といわれる | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 38, 号 11, p. 487-494, 発行日 1986-11-01 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 427 | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
値 | Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |