研究解説 : 自己組織化単分子膜のマイクロマシニングへの応用

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アイテムタイプ	紀要論文 / Departmental Bulletin Paper
言語	日本語
その他のタイトル	MEMS to SAMs and SAMs for MEMS
著者	金範埈キムギュマンブルガユルゲン
著者別名	Kim Beomjoon Kim Gyuman Brugger Juergen
著者所属	東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター Eiole Poly technique Federale de Lausanne (EPFL)
内容記述	特集プロダクションテクノロジー
雑誌名	生産研究
巻	54
号	3
ページ	198 - 203
発行年	2002
ISSN	18812058 0037105X
書誌レコードID	AN00127075
DOI	info:doi/10.11188/seisankenkyu.54.198
出版者	東京大学生産技術研究所
出版者別名	Institute of Industrial Science, the University of Tokyo