研究速報 : 原子間力顕微鏡における探針のねじれ固有振動を用いた可視化手法

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アイテムタイプ	紀要論文 / Departmental Bulletin Paper
言語	日本語
その他のタイトル	Mapping of Lateral Vibration Amplitude of the tip in Contact Mode Atomic Force Microscopy
著者	河岸孝昌星泰雄加藤篤川井茂樹川勝英樹
著者別名	kakeuchi Shoji Hoshi Yasuo Kato Atsushi Kawai Shigeki Kawakatsu Hideki
著者所属	東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
内容記述	特集プロダクションテクノロジー
雑誌名	生産研究
巻	54
号	3
ページ	208 - 214
発行年	2002
ISSN	18812058 0037105X
書誌レコードID	AN00127075
DOI	info:doi/10.11188/seisankenkyu.54.208
出版者	東京大学生産技術研究所
出版者別名	Institute of Industrial Science, the University of Tokyo