WEKO3
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特集7 : 研究速報 : 超LSIデバイスの製造における機械的プラナリゼーション加工
http://hdl.handle.net/2261/50019
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名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
sk046012008.pdf (527.7 kB)
|
|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2012-11-16 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 特集7 : 研究速報 : 超LSIデバイスの製造における機械的プラナリゼーション加工 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | A Mechanical Planarization Technique in ULSI Device Process | |||||
著者 |
丁, 海島
× 丁, 海島× 中川, 威雄 |
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著者別名 | ||||||
識別子 | 32525 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | JEONG, Heado | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 32526 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | NAKAGAWA, Takeo | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学 | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 先端素材製造学 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 特集 プロダクションテクノロジー | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 46, 号 12, p. 647-650, 発行日 1994-12 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題 | 549 | |||||
主題Scheme | NDC | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |