WEKO3
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特集2 : 研究解説 : 走査電子顕微鏡による表面形状測定
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http://hdl.handle.net/2261/434240b25afe7-2ce3-4900-b946-a758ade045e4
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
sk042006003.pdf (1.2 MB)
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|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2012-11-09 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 特集2 : 研究解説 : 走査電子顕微鏡による表面形状測定 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Measurements of Surface Profile by Scanning Electron Microscope | |||||
著者 |
佐藤, 壽芳
× 佐藤, 壽芳× 大堀, 真敬 |
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著者別名 | ||||||
識別子 | 35615 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | SATO, Hisayoshi | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 35616 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | OHORI, Masanori | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 加工システム工学 | |||||
抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 走査電子顕微鏡(SEM)を用いて微細表面形状を測定する方法について、光学的方法、トンネル顕微鏡(STM)との比較を簡単に行った後、 SEM二を用いる方法の中にも、ステレオ画像法、二次電子信号を用いる方法,反射電子信号を用いる方法があることを述べている。サブμm台の形状に対する当面の最も信海性の高い方法として、反射電子信号による方法があげられていることを、その特徴や機能を概観しつつ明らかにしている | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 特集 生産加工システムの先進技術 | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 42, 号 6, p. 301-311, 発行日 1990-06-01 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題 | 500 | |||||
主題Scheme | NDC | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |