WEKO3
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特集8 : 研究速報 : イオン線誘起電流(IBIC)を用いたイオン ・エッチング過程の新しいモニタ一法(1)
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名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
sk032011008.pdf (371.3 kB)
|
|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2010-10-28 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 特集8 : 研究速報 : イオン線誘起電流(IBIC)を用いたイオン ・エッチング過程の新しいモニタ一法(1) | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Ion-Beam-Induced-Current (IBIC) Monitoring of Uniform and Selective lon-Etching Processes ln Layered Structures(1) | |||||
著者 |
榊, 裕之
× 榊, 裕之× 横山, 幸嗣× 関口, 芳信× 今井, 勇次 |
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著者別名 | ||||||
識別子 | 41524 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Sakaki, Hiroyuki | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 41525 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Yokoyama, Koji | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 41526 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Sekiguchi, Yoshinobu | |||||
著者別名 | ||||||
識別子 | 41527 | |||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
姓名 | Imai, Yuji | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 東京大学生産技術研究所第3部 超短波工学 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 特集:生産・加工システムの最適化 | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 32, 号 11, p. 540-543, 発行日 1980-11-01 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題 | 530 | |||||
主題Scheme | NDC | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |