2024-03-29T00:41:20Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018528
2022-12-19T03:57:19Z
171:1108:1244:1256
9:504:1111:1246:1257
研究速報 : 活性化蒸着法によるITO薄膜の表面モフォロジーに関する研究
Study on the Surface Morphology of ITO Thin Films Deposited by Activated Physical Vapor Deposition
重里, 有三
安井, 至
431
東京大学生産技術研究所
1995-07
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/52541
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/18528
AN00127075
0037105X
生産研究
47
7
349
352
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/18528/files/sk047007006.pdf
application/pdf
4.0 MB
2017-06-08