2024-03-29T08:14:19Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018664
2022-12-19T03:57:24Z
171:1108:1270:1282
9:504:1111:1272:1283
特集3 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 100ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定
Comparison Measurement with a Crystalline Lattice as the Scale Reference : Measurement of Accuracy for a Measurement Range of 100nm
川勝, 英樹
樋口, 俊郎
鴻上, 弘
501
小特集 マイクロメカトロニクス研究グループ
東京大学生産技術研究所
1994-07
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/49965
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/18664
AN00127075
0037105X
生産研究
46
7
376
379
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/18664/files/sk046007003.pdf
application/pdf
567.9 kB
2017-06-08