2024-03-29T01:01:06Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018666
2022-12-19T05:07:06Z
171:1108:1270:1282
9:504:1111:1272:1283
特集5 : 研究速報 : 微小なマッハツェンダー干渉計によるマイクロアクチュエータ制御用変位センサー
A Displacement Sensor for Control of Microactuators using Mach-Zehnder Interferometer
斉藤, 秀典
藤田, 博之
501
小特集 マイクロメカトロニクス研究グループ
東京大学生産技術研究所
1994-07
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/49967
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/18666
AN00127075
0037105X
生産研究
46
7
384
387
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/18666/files/sk046007005.pdf
application/pdf
494.3 kB
2017-06-08