2024-03-28T18:33:11Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018847
2022-12-19T03:57:37Z
171:1108:1296:1310
9:504:1111:1298:1311
特集19 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定
Comparison Measurement with a Crystalline Lattice as the Scale Reference : Measurement of Accuracy for a Measurement Range of 10nm
川勝, 英樹
樋口, 俊郎
川合, 稔
渡邊, 道仁
西沖, 暢久
531
特集 生産加工プロセスの先進技術
東京大学生産技術研究所
1993-06-01
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/49297
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/18847
AN00127075
0037105X
生産研究
45
6
455
457
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/18847/files/sk045006020.pdf
application/pdf
324.2 kB
2017-06-08