2024-03-28T17:34:03Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019144
2022-12-19T03:57:54Z
171:1108:1348:1362
9:504:1111:1350:1363
研究速報 : 昇温脱離法によるAl合金膜中のガス分析
Gas Analysis in Al-alloy Thin Films by Thermal Desorption Spectroscopy
藤田, 大介
小池, 義彦
本間, 禎一
549
東京大学生産技術研究所
1991-06-01
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/48294
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/19144
AN00127075
0037105X
生産研究
43
6
293
296
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19144/files/sk043006009.pdf
application/pdf
352.4 kB
2017-06-08