2024-03-29T11:58:33Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019569
2022-12-19T03:58:21Z
171:1108:1422:1428
9:504:1111:1424:1429
特集16 : 研究速報 : 作動距離、加速電圧と反射電子信号の関連について : 走査電子顕微鏡による表面形状測定
Correlation of Backscattered Electron Signal with Working Distance and Accelarating Voltage : The Surface Form Measurment using SEM
大堀, 真敬
佐藤, 壽芳
420
特集 生産・加工システムの最適化
東京大学生産技術研究所
1988-10-01
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/40101
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/19569
AN00127075
0037105X
生産研究
40
10
520
523
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19569/files/sk040010017.pdf
application/pdf
310.4 kB
2017-06-08