2024-03-29T01:22:43Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019649
2022-12-19T03:58:27Z
171:1108:1422:1442
9:504:1111:1424:1443
研究速報 : 熱CVD法で生成した窒化珪素超微粒子の高温静電捕集
High Temperature Electrostatic Precipitation of CVD Ultra-Fine Particles of Silicon-nitride
山本, 英夫
野村, 剛志
420
東京大学生産技術研究所
1988-03-01
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/40017
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/19649
AN00127075
0037105X
生産研究
40
3
171
174
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19649/files/sk040003011.pdf
application/pdf
439.8 kB
2017-06-08