2024-03-28T22:18:18Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019755
2022-12-19T03:53:31Z
171:1108:1448:1462
9:504:1111:1450:1463
特集7 : 研究速報 : 走査電子顕微鏡(SEM)による表面形状測定の研究 : 反射電子信号から形状信号の分離について
Measurement of Surface Form by Scanning Microscope : Separation of Surface Form Signal from Backscattered Electron Signal
大堀, 真敬
佐藤, 壽芳
500
特集 生産・加工システムの最適化
東京大学生産技術研究所
1987-06-01
jpn
departmental bulletin paper
http://hdl.handle.net/2261/39619
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/records/19755
AN00127075
0037105X
生産研究
39
6
237
240
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19755/files/sk039006008.pdf
application/pdf
294.1 kB
2017-06-08