2024-03-29T10:03:36Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00001924
2022-12-19T03:43:27Z
6:260:261
9:233:234
Study on the Photoluminescence Method for Quantitative Analysis of High Concentration of Impurities in Si
フォトルミネッセンス法によるシリコン結晶の高濃度不純物定量に関する研究
荻原, 崇
5790
549
フォトルミネッセンス
Si
PL
定量
修士(工学)
thesis
2008-03-24
2008-03-24
application/pdf
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/1924/files/37066460.pdf
jpn