2024-03-29T11:55:54Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00002209
2022-12-19T03:43:49Z
6:260:318
9:233:280
LPE法による高品質SOI層の形成技術に関する研究
鈴木, 喜之
6319
549.7
集積回路
University of Tokyo (東京大学)
工学博士
thesis
1990-03-29
1990-03-29
application/pdf
甲第8565号
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/2209/files/108565.pdf
jpn