2024-03-28T11:50:37Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00008074
2022-12-19T03:51:30Z
75:76:396
9:233:280
レーザー干渉型新竹モニターによるナノメートル電子ビームサイズの精密測定
Precise Measurement of Nanometer Scale Electron Beam Sizes Using Laser Interference by Shintake Monitor
Jacqueline, YAN
141149
University of Tokyo(東京大学)
博士(理学)
学位の種別: 課程博士
審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 徳宿 克夫, 東京大学教授 牧島 一夫, 東京大学教授 坂本 宏, 東京大学准教授 川本 辰男, 東京大学准教授 山下 了
thesis
2015-03-24
2015-03-24
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12601甲第31317号
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/8074/files/A31317.pdf
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/8074/files/A31317_abstract.pdf
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/8074/files/A31317_review.pdf
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