2024-03-29T08:32:27Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017809
2022-12-19T03:55:27Z
171:1108:1114:1122
9:504:1111:1116:1123
Development of SEM-AFM for evaluation of 3D nanometric structures
研究速報 : 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内原子間力顕微鏡の開発
福島, 公威
28895
佐谷, 大輔
28896
川勝, 英樹
28897
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
2000-09
application/pdf
生産研究
9
52
438
440
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/17809/files/sk052009017.pdf
jpn