2024-03-29T06:16:41Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017831
2022-12-19T03:56:44Z
171:1108:1114:1128
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セッション2 : MEMSの情報機器応用への期待
井野, 英哉
28992
第13回生研学術講演会"マイクロマシン : 基盤技術の充実と応用の展開の現状"
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
2000-06
application/pdf
生産研究
6
52
279
281
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/17831/files/sk052006005.pdf
jpn