2024-03-28T21:21:22Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017937
2022-12-19T03:56:52Z
171:1108:1140:1150
9:504:1111:1142:1151
Step Motion Actuators by Silicon Micromachining
研究速報 : シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ
年吉, 洋
29473
小林, 大
29474
三田, 信
29475
橋口, 原
29476
藤田, 博之
29477
遠藤, 潤二
29478
和田, 恭雄
29479
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
1999-08
application/pdf
生産研究
8
51
647
650
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/17937/files/sk051008010.pdf
jpn