2024-03-28T13:30:25Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019144
2022-12-19T03:57:54Z
171:1108:1348:1362
9:504:1111:1350:1363
Gas Analysis in Al-alloy Thin Films by Thermal Desorption Spectroscopy
研究速報 : 昇温脱離法によるAl合金膜中のガス分析
藤田, 大介
35040
小池, 義彦
35041
本間, 禎一
35042
549
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
1991-06-01
application/pdf
生産研究
6
43
293
296
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19144/files/sk043006009.pdf
jpn