2024-03-28T17:11:28Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019203
2022-12-19T03:57:59Z
171:1108:1374:1375
9:504:1111:1376:1377
Intelligent Micro Mecbatronics
研究解説(公開講演) : インテリジェントマイクロメカトロニクス
藤田, 博之
35335
530
超小型の知的メカトロニクスシステムを美現するためには、IC製造用微細加工技術を用いるアプローチと、極限的な精密機械加工を用いるアプローチ、さらにこうして作られた微小デバイスを統合するメカトロニクスのアプローチの3つが必要である。これらの技術の最先端を、生産研での成果を中心に解説する。特に、静電気や超電導を用いたマイクロアクチュエータ、マイクロ放電加工、衝撃力による微細位置決め法について述べる
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
1990-12-01
application/pdf
生産研究
12
42
663
672
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19203/files/sk042012001.pdf
jpn