2024-03-29T00:39:27Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019644
2022-12-19T03:58:27Z
171:1108:1422:1442
9:504:1111:1424:1443
Analysis of an Electrostatic Actuator and Performance Measurement by its Scale Model
研究速報 : 静電アクチュエータの解析と拡大モデルによる性能評価
藤田, 博之
37183
面高, 秋人
37184
原田, 昌信
37185
田中, 秀郎
37186
大谷, 淳一
37187
530
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
1988-03-01
application/pdf
生産研究
3
40
152
155
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19644/files/sk040003006.pdf
jpn