2024-03-28T16:45:11Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00019754
2022-12-19T03:53:31Z
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High-Efficiency Fine Finishing Using 'Liquid-Bonded Wheel '
特集6 : 研究解説 : 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法
谷, 泰弘
37657
河田, 研治
37658
530
液体ボンド砥石は、微細な砥粒を液体の表面張力により結合したもので、硬脆材料の鏡面研磨を目的として開発した非常に柔らかいラッピング砥石である。本報告では、この液体ポンド砥石の構造や特徴について解説するとともに、その特徴を生かして高加工圧にて研磨を行う方法について述べ、さらに高加工圧領域での硬脆材料であるシリコンウエハやセラミックスに対する研磨特性について解説する
特集 生産・加工システムの最適化
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
1987-06-01
application/pdf
生産研究
6
39
231
236
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/19754/files/sk039006007.pdf
jpn