2024-03-28T12:37:58Z
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/oai
oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00020835
2022-12-19T03:59:19Z
171:1108:1654:1672
9:504:1111:1656:1673
Micro-Lithography and Fabrication of Sub-Micron Diffraction Gratings on Silicon by Selective Photo-Electrolytic Etching
研究速報 : 選択的光エッチングを用いたシリコン表面の微細加工とサブミクロン回折格子の作成
榊, 裕之
108191
今井, 勇次
108192
500
application/pdf
departmental bulletin paper
東京大学生産技術研究所
1979-04-01
application/pdf
生産研究
4
31
227
230
AN00127075
0037105X
https://repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp/record/20835/files/sk031004004.pdf
jpn