@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017776,
 author = {小林, 剣二 and 光田, 好孝},
 issue = {11},
 journal = {生産研究},
 month = {Nov},
 pages = {551--554},
 title = {研究速報 : 両極性スパッタリングによるチタン酸バリウム薄膜の低温形成},
 volume = {52},
 year = {2000}
}