@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017806,
 author = {佐谷, 大輔 and 福島, 公威 and 年吉, 洋 and 橋口, 原 and 藤田, 博之 and 川勝, 英樹},
 issue = {9},
 journal = {生産研究},
 month = {Sep},
 pages = {426--429},
 title = {研究速報 : ナノメートルオーダの機械振動子の作製},
 volume = {52},
 year = {2000}
}