@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017830, author = {大平, 文和}, issue = {6}, journal = {生産研究}, month = {Jun}, note = {第13回生研学術講演会"マイクロマシン : 基盤技術の充実と応用の展開の現状"}, pages = {273--278}, title = {セッション2 : 光通信分野へのマイクロメカトロニクス技術の応用}, volume = {52}, year = {2000} }