@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017937,
 author = {年吉, 洋 and 小林, 大 and 三田, 信 and 橋口, 原 and 藤田, 博之 and 遠藤, 潤二 and 和田, 恭雄},
 issue = {8},
 journal = {生産研究},
 month = {Aug},
 pages = {647--650},
 title = {研究速報 : シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ},
 volume = {51},
 year = {1999}
}