@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00017941,
 author = {川勝, 英樹 and 年吉, 洋 and 佐谷, 大輔 and 藤田, 博之},
 issue = {8},
 journal = {生産研究},
 month = {Aug},
 pages = {663--666},
 title = {研究速報 : ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法},
 volume = {51},
 year = {1999}
}