@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00018176,
 author = {藤田, 博之},
 issue = {12},
 journal = {生産研究},
 month = {Dec},
 note = {小特集 マイクロマシン},
 pages = {599--603},
 title = {特集1 : 研究解説 : 高アスペクト比マイクロ構造の製作法},
 volume = {49},
 year = {1997}
}